请问一般光刻胶的最小分辨率是多少？ - Physics版

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Physics版 - 请问一般光刻胶的最小分辨率是多少？

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话题: 光刻胶话题: 分辨率话题: 最小

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d*******2
发帖数: 340

在维基上看到的shipley光刻胶最小分辨率一般是500nm,http://en.wikipedia.org/wiki/Photoresist
请问如果需要更小的分辨率得用别的光刻胶吗？
先谢了！

s***e
发帖数: 7166

这个要看你用啥子做光刻，而不是光刻胶本身。
optical lithography大概就是亚微米量级而已。电子束可以做到10纳米量级。更小的
尺寸也可以用类似STM的设备加上非线性光学的TRICK做到。

【在 d*******2 的大作中提到】

: 在维基上看到的shipley光刻胶最小分辨率一般是500nm,http://en.wikipedia.org/wiki/Photoresist
: 请问如果需要更小的分辨率得用别的光刻胶吗？
: 先谢了！

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